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纳米压痕测试

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    1、纳米压痕载荷:500mN;载荷分辨率:40nN;

压痕深度:500um;位移分辨率:0.01nm;

2、划痕测量大划痕力≥500mN;

擦深度≥500um;长度≥100mm;

3、原子力显微模块移动范围:100um×100um;X和Y分辨率≤1nm。

 
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